美國ALICAT MCS/MCRS 耐腐蝕質量流量控制器參數:
0 – 0.5 sccm 滿量程到 0 – 3000 slpm 滿量程
艾里卡特?MCS & MCRS 系列專用于某些腐蝕性氣體
產品性能: MCS & MCRS 系列質量流量控制器
精度(調零后標準條件下): ± (0.8%Rdg + 0.2%F.S)
高精度選配(調零后標準條件下): ±(0.4%Rdg + 0.2%F.S)
高精度(選配)僅適用于量程為: 5SCCM ~ 500SLPM 的設備
重復性: ±0.2% F.S
零點漂移&滿量程漂移: 0.02% F.S / oC / Atm
工作范圍 / 量程可調比: 1% ～ 100 F.S / 100:1
很大可控流量: 102.4% F.S
典型響應時間: 100 毫秒(可調整)
啟動預熱時間: < 1 秒
運行工況: MCS & MCRS 系列質量流量控制器
標準工況: (STP) 25oC & 14.696 psia、20oC & 14.696 psia、0oC & 14.696 psia (三種工況供切換)
工作溫度: ?10 ~ +50 oC
工作濕度范圍 (非冷凝): 0 ~ 100
內部很大工作壓力(靜壓): 145 psig
很限壓力: 175 psig
對安裝方式/方向的要求: MCS: 無 MCRS: 閥門須垂直安裝
閥門狀態: 閥門常閉
防護等級： IP40
材質 ：標準采用 316LSS, 303SS, 430FRSS, FFKM (Kalrez), 可根據特殊氣體選用 Viton, EPDM, Buna, Neoprene；
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